本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、品牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于地位，达到甚至超过国际先进水平。 适用于：物理、化学气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备； 光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。 应用原理: 在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。 深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。 主要的性能特点 1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%； 2、提高镀膜质量，防返油、不脱落、颜色； 3、降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，较低可到-150℃； 4、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温; 5、触摸屏 PLC=完善的自动化控制； 6、一台设备可设计两路负载输出； 7、压缩机，环保混合型制冷剂; 8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示； 9、除霜温度自由设定； 10、具有水温温度、排气温度显示； 11、缺水、水温过高报警； 12、压缩机排气过高、压力过高保护； 13、可本地、远程控制自由转换； 14、R232计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。 型 号：TH-135-20A 较大功率：11.7kW 工作温度：-100℃至-150℃ 抽气速度：149000L/s 较大制冷量（-100℃时）：2100W 冷凝管表面积：1㎡ 冷凝管长度：20m，直径16mm 预冷时间：小于等于30min 降温时间：小于等于3min 除霜时间：小于等于3min 再降温时间：小于等于5min 适用油扩散泵径：小于等于800mm 冷却方式：水冷(t≤30度) 型 号：TH-135-32A 较大功率：14.1kW 工作温度：-100℃至-150℃ 抽气速度：238400L/s 较大制冷量（-100℃时）：2800W 冷凝管面积：1.6㎡ 冷凝管长度：32m，直径16mm 预冷时间：小于等于30min 降温时间：小于等于4min 除霜时间：小于等于3min 再降温时间：小于等于3min 适用油扩散泵径：小于等于900mm 冷却方式：水冷(t≤30度)